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清洗腐蚀区设备主要包括去胶台、RCA清洗机、KOH/TMAH腐蚀台、晶圆喷镀机等;目前能完成各类去胶工艺硅片、玻璃片普通清洗、氧化前清洗、 键合前清洗_ I艺,KOH/TMAH腐蚀台阶工艺、减蕙工艺晶圆喷镀铜工艺、喷镀镍工艺等。